產品特點：

晶圓尺寸: 6-8英寸 
溫度范圍: 溫度200-800℃，溫度均勻性±3℃
壓力: 極限20KN，力均勻性＜±1%
真空度: ≤10Pa 
壓頭: 柔性壓頭/硬性壓頭 

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